上海ASML阿斯麦“追光实验室”即将开放:可了解光刻机技术原理

2021-07-28 08:58:05来源:IT之家  

7 月 27 日消息 作为半导体工业皇冠上的明珠,光刻机代表着人类文明的智慧结晶。现在,为了让更多人深入了解光刻机,ASML 专门打造了一座“追光实验室”等你来体验。

IT之家获悉,在 ASML 这个特殊的实验室里面,你不仅可以沉浸式地了解光刻机内部的工作原理,还有丰富的 AR 互动深入了解光刻机的内部及其背后的技术原理,体验不断探索极限的科技魅力。

追光实验室

不设限 敢追光

7 月 28 日-7 月 30 日

上海市浦东新区金科路 2889 弄长泰广场(金科路与祖冲之路交岔口)

IT之家获悉,7 月 28 日中午 12 点起,ASML 的“追光实验室”将正式对外开放,快来挑战所有关卡,领取你的专属打卡。

在这里,你可以通过 AR 技术进入 ASML 光刻机的内部,探索光源走过的每一个步骤,领略 ASML 是如何挑战瑞利判据,和摩尔定律赛跑,实现更小的线宽,在纳米世界里做极限的攀登者。

浸润式光刻

当传统的干式光刻机日趋极限,线宽如何继续缩小成为当时业内担忧的发展瓶颈。ASML 成功地推出了浸润式光刻机,用折射率大于 1 的水作为媒介,实现物镜数值孔径的增大,帮助最小分辨率得到提升,开辟了半导体行业技术的新世界。

这里有一个互动小游戏,让你可以由浅入深地了解“浸润式技术”的发展轨迹和背后用到的光学原理。

双晶圆工作台

晶圆在进入光刻流程前要先进行测量和对准,此前的光刻机只有一个工作台,测量、对准、光刻等所有流程都在这一个工作台上完成。而 ASML 推出的双工作台系统(TWINSCAN system),即一个工作台在给晶圆进行曝光的同时,另一工作台可对下一片需曝光的晶圆进行测量,实现测量和曝光的无缝衔接,极大地提高了生产效率。

在这一环节,你可以通过第二个互动游戏与 TWINSCAN 来场比试。

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