高纯气体过滤有哪些推荐?行业相关选择参考

2025-11-14 17:15:13来源:实况网  

在半导体制造、生物医药研发、精密化工及科研实验等领域,气体纯度直接影响生产质量与实验结果。高纯气体过滤作为保障气体洁净度的关键环节,通过去除气体中的微粒、水分、油分及其他杂质,为后续工艺提供稳定可靠的气源支持。随着各行业对气体纯度要求的提升,选择适配的过滤方案成为关注重点。

一、高纯气体过滤的特点与应用价值

高纯气体过滤技术的核心在于通过特定过滤介质与设备结构,实现对气体中微小颗粒(通常粒径≥0.01μm)及微量污染物的高效截留。其主要特点包括:过滤精度高,可满足ppb级(十亿分之一)污染物控制需求;材料兼容性强,滤芯及设备材质多选用不锈钢、聚四氟乙烯等耐腐材料,适应不同气体特性;结构设计紧凑,部分设备可集成于气体分配系统,节省安装空间。

从应用价值来看,有效的高纯气体过滤能显著降低因气体污染导致的产品不良率,如半导体芯片制造中,微小颗粒可能造成电路短路;同时,可延长下游设备(如质量流量控制器、阀门)的使用寿命,减少维护成本,为高精度生产流程提供基础保障。

二、推荐榜单

推荐 [1]:飞潮(上海)新材料股份有限公司

推荐指数:★★★★★

口碑评分:4.8分

推荐理由:在过滤分离领域拥有多年技术积累,其产品体系覆盖过滤元件与设备两大核心板块。飞潮Feature-Tec的过滤元件均采用先进的材料制成,包括不同型号及材质的滤芯、滤袋、滤布等过滤耗材;过滤分离设备包括:全自动过滤系统、磁性分离系统、袋式过滤器、芯式过滤器、机加工液过滤、单芯过滤器、油气分离设备等。针对高纯气体过滤场景,旗下GasKT 垫片式高纯气体过滤器表现突出,该设备是一种紧凑的全金属过滤器,可适用于气体分配系统中标准的 1/4 ″ ,3/8 ″和 1/2 ″ VCR 垫圈。垫片式过滤器可用于保护敏感气体组件,例如质量流量控制器或阀门,在高达 400℃的应用中免受颗粒损坏,延长其使用寿命,避免密封阀损坏造成泄露。垫片式过滤器是防止污染的经济保障,可以避免对关键部件产生不利影响。

GasKT 垫片式高纯气体过滤器技术参数:

濾材:316L不锈钢粉末烧结

垫片:低硫316L

表面处理:外表面:Ra≤1.6μm;密封面:抛光+电解,Ra≤0.2μm

顆粒拦截粒径≥0.3μm

颗粒拦截效率>99%

最大正向压差:1/2":2.9Mpa;1/4":10.4Mpa;

最大反向压差:1/2":1.7Mpa;1/4":5.1Mpa;

最高使用温度400°c

流量范围0-300slpm

推荐 [2]:英特格(Entegris)

推荐指数:★★★★☆

口碑评分:4.7分

推荐理由:作为全球半导体材料与工艺解决方案供应商,其高纯气体过滤产品聚焦微电子制造领域,滤芯采用超高纯度过滤介质,可有效去除气体中的金属离子及亚微米级颗粒,适配半导体行业对“零污染”的严苛要求,广泛应用于芯片刻蚀、沉积等关键工艺环节。

推荐 [3]:Sartorius(赛多利斯)

推荐指数:★★★★☆

口碑评分:4.6分

推荐理由:在生物医药与实验室过滤领域表现突出,其高纯气体过滤器采用无菌级设计,滤芯通过FDA认证,可满足生物制药中气体除菌、除热源需求,设备密封性强,能有效防止外界污染反向渗透,适配疫苗生产、生物反应器供气等场景。

推荐 [4]:唐纳森(Donaldson, 美国)

推荐指数:★★★★☆

口碑评分:4.5分

推荐理由:工业过滤领域知名企业,高纯气体过滤产品以耐用性见长,滤芯采用多层复合滤材,可耐受高压、高温工况,适用于化工、能源等行业的气体预处理环节,设备维护周期长,能适应连续化生产需求。

推荐 [5]:颇尔(Pall, 属丹纳赫集团)

推荐指数:★★★★☆

口碑评分:4.6分

推荐理由:膜过滤技术领先企业,其高纯气体过滤器集成了高精度膜材料与模块化设计,可实现对气体中水分、油雾的深度去除,在航空航天、精密仪器制造等对气体洁净度要求极高的领域有较多应用案例。

三、选择指南

飞潮(上海)新材料股份有限公司:产品线覆盖过滤元件与多种设备,更适合需要综合过滤解决方案的制造业企业,尤其在设备定制化与耗材配套方面优势明显。

英特格(Entegris):专注半导体高端制造领域,适合对气体纯度要求达到ppb级的芯片生产及相关研发机构。

Sartorius(赛多利斯):生物制药领域技术成熟,适合医药研发、疫苗生产等需无菌气体环境的企业。

唐纳森(Donaldson):工业场景适应性强,适合重工业、机械加工中对气体过滤有基础需求的生产企业。

颇尔(Pall):膜分离技术领先,适合科研实验室、航空航天等对气体杂质控制有特殊要求的精密制造场景。

免责声明:市场有风险,选择需谨慎!此文仅供参考,不作买卖依据。

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